Тлеющий разряд в устройствах с электростатическими ловушками

Смотреть оглавление

Торговый код: 652628

Тлеющий разряд в устройствах с электростатическими ловушками: монография / А.С. Метель, С.Н. Григорьев. – Москва: КУРС, 2022. – 160 с.

Рассматриваются известные свойства тлеющих разрядов с осциллирующими электронами при давлении газа от 1 до 1000 Па, и приводятся результаты исследований разрядов с электростатическими ловушками, позволившие снизить давление газа в сильноточном тлеющем разряде без магнитного поля до 0,001-0,01 Па. Четыре универсальных параметра определяют характеристики тлеющего разряда с электростатическим удержанием электронов и границы трех характерных диапазонов давления области эффекта электростатической ловушки (ЭЭЛ). В основе эффекта лежит размножение в катодном слое разряда быстрых электронов, возвращающихся в него после каждого пролета через плазму. Определены основные направления разработки устройств на основе данного вида разряда для обработки материалов. Книга предназначается студентам старших курсов и аспирантам, специализирующимся в области высокоэффективных технологий обработки материалов, а также разработчикам вакуумного оборудования для ионно-плазменной модификации поверхности изделий.