Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий

Смотреть оглавление

Торговый код: 652591

Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий: монография / С.Н. Григорьев , Ю.А. Мельник , А.С. Метель. – Москва: КУРС, 2021. – 176 с.

В монографии рассматриваются источники широких пучков быстрых нейтральных атомов газа и потоков атомов металла для обработки поверхности изделий. Излагаются физические основы генерации используемого в них плазменного эмиттера ионов в тлеющем разряде с электростатическим удержанием электронов. Описаны источники для синтеза покрытий на изделиях сложной геометрической формы из диэлектрических материалов с единой эмиссионной сеткой для атомов металла и сопровождающих их быстрых атомов газа. Анализируются результаты применения источников для активации поверхности перед осаждением покрытий на изделия из любых материалов, травления поверхности диэлектриков, осаждения и удаления износостойких покрытий.

Книга предназначена студентам и аспирантам, специализирующимся в области ионно-плазменной обработки материалов.