Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий

528.00

Торговый код: 652591

Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий: Монография / С.Н. Григорьев, Ю.А. Мельник, А.С. Метель — М.: КУРС, 2017 — 176 с.

Печать

Артикул: 652591 Категория:

Описание

В монографии рассматриваются источники широких пучков быстрых нейтральных атомов газа и потоков атомов металла для обработки поверхности изделий. Излагаются физические основы генерации используемого в них плазменного эмиттера ионов в тлеющем разряде с электростатическим удержанием электронов. Описаны источники для синтеза покрытий на изделиях сложной геометрической формы из диэлектрических материалов с единой эмиссионной сеткой для атомов металла и сопровождающих их быстрых атомов газа. Анализируются результаты применения источников для активации поверхности перед осаждением покрытий на изделия из любых материалов, травления поверхности диэлектриков, осаждения и удаления износостойких покрытий.
Книга предназначена студентам и аспирантам, специализирующимся в области ионно-плазменной обработки материалов.